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全自动晶圆打标机
晶圆激光打标设备:标准打标字体及种类、打标字符尺寸检测、单点形态检测(清洗后)、单点形态检测(SIC)
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晶圆检测设备:可检测多种缺陷:2D图形检测(划伤、背崩、DIE丢失、破裂、崩边、色差、开裂、划偏、金属残留、金属缺失等),2D关键尺寸 检测(Pad便捷、关键位置尺寸)。
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