全自动晶圆打标机

机型

HX-LM-2000

设备尺寸

约1520(L)x1800(W)x1987(H)mm

激光波长

355nm/532nm/1064nm

激光功率

5W〜50W

脉冲能量稳定性

<2%

字体

DotmatrixSEMIOCR5*9/9*17/10*18

Barcode SEMIBC412SEMIT7

光束质量M2

<1.2

定位精度

±100um

点深度

(1.5〜5)±0.5μm

点直径

(50〜70) ±5μm

晶圆材质

无涂层硅片/氧化硅片/碳化硅/砷化镓/钽酸锂/铌酸锂

晶圆尺寸

100mm/150mm/200mm/300mm

晶圆传送

单臂/双臂 机器人

晶圆校准器

光电式

Loadport

1个/2个

产能

120(OnlyLaser)/100(LaserandOCR)

清洁度

＜Class 100

MTBF

>350hr

MTTR

＜4hr

可运行时间

≥95%

电源要求

AC220V 20A 50Hz